1、送风量与排风量：假如是紊流无尘车间，那么就要丈量其送风量与排风量。若为单向流无尘车间，则要丈量其风速。
2、各区之间的气流操控：为证实各区之间气流运动方向准确，也即是从洁净区向洁净度差的区域活动，有必要检查：
（1）各区间的压差准确；
（2）门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向准确，即从洁净区向洁净程度差的区域活动。
3、过滤器检漏：对高效过滤器及其外框要进行查验，以保证悬浮污染物不会穿过：
（1）损坏了的过滤器；
（2）过滤器与其外框间的缝隙；
（3）过滤器装置的别的部位而侵入室内。
4、隔离检漏：这项测验是为了证实悬浮污染物不穿过建筑材料侵入无尘车间。
5、室内气流操控：气流操控测验的类型要依无尘车间的气流模式——是紊流仍是单向流而定。若无尘车间气流为紊流，则有必要验明室内没有气流运行缺乏的区域。假如单向流无尘车间，则有必要验明全部室内的风速和风向是契合规划要求的。
6、悬浮粒子浓度和微生物浓度：假如上述这些测验满足要求，则最后对粒子浓度和微生物浓度（需求时）进行丈量，以便验明其契合无尘车间规划的技能条件。
2、各区之间的气流操控：为证实各区之间气流运动方向准确，也即是从洁净区向洁净度差的区域活动，有必要检查：
（1）各区间的压差准确；
（2）门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向准确，即从洁净区向洁净程度差的区域活动。
3、过滤器检漏：对高效过滤器及其外框要进行查验，以保证悬浮污染物不会穿过：
（1）损坏了的过滤器；
（2）过滤器与其外框间的缝隙；
（3）过滤器装置的别的部位而侵入室内。
4、隔离检漏：这项测验是为了证实悬浮污染物不穿过建筑材料侵入无尘车间。
5、室内气流操控：气流操控测验的类型要依无尘车间的气流模式——是紊流仍是单向流而定。若无尘车间气流为紊流，则有必要验明室内没有气流运行缺乏的区域。假如单向流无尘车间，则有必要验明全部室内的风速和风向是契合规划要求的。
6、悬浮粒子浓度和微生物浓度：假如上述这些测验满足要求，则最后对粒子浓度和微生物浓度（需求时）进行丈量，以便验明其契合无尘车间规划的技能条件。